半导体制造之外延工艺详解
外延工艺是指在衬底上生长完全排列有序的单晶体层的工艺。一般来讲，外延工艺是在单晶衬底上生长一层与原衬底相同晶格取向的晶体层。外延工艺
2023-02-13 15:08:36
固相外延,关于固相外延的所有信息
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半导体制造之外延工艺详解
外延工艺是指在衬底上生长完全排列有序的单晶体层的工艺。一般来讲，外延工艺是在单晶衬底上生长一层与原衬底相同晶格取向的晶体层。外延工艺
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2023-02-13 15:15:47
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2023-02-13 13:58:11
